紫外系列元件
应用方向：紫外光刻、显微成像系统、半导体检测
产品类型：ArF、DUV投影物镜、照明系统透镜、反射镜、分光镜、窄带滤光片、长波截止滤光片、短波截止滤光片、214nm、254nm高透滤光片、190、 193、226、248、266、308nm准分子激光窗口等根据客户需求中心波长、透射带宽等参数均可定制。
260-275nm带通滤光片
260-320nm带通滤光片
193nm介质反射镜
193nm镜头及窗口增透
193nm分光元件
金属膜反射镜
紫外加强铝反射镜
应用：紫外光固化 半导体检测 准分子激光器
产品特点：
波段宽：170-1200nm 260-450nm
低角度效应
密闭空间强紫外辐射环境下使用1万瓦小时反射率下降小于4%
